Ο υπερηχητικός ψεκασμός υιοθετεί τη μέθοδο ψεκασμού της τεχνολογίας υπερηχητικής ψεκασμού, η οποία είναι θεμελιωδώς διαφορετική από τον παραδοσιακό ψεκασμό μονής υγρού ή δύο υγρού. Ο υπερηχητικός ψεκασμός υιοθετεί τη συσκευή ψεκασμού, η οποία θα είναι διαφορετική στο αποτέλεσμα χρήσης. Ποια είναι τα πλεονεκτήματα;
1. Υψηλή ομοιομορφία επικάλυψης
Η ομοιομορφία της κατανομής των υγρών σωματιδίων μετά την ψεκασμό από το υπερηχητικό ακροφύσιο είναι σημαντικά υψηλότερο από αυτό του ακροφυσίου δύο υγρού, το οποίο είναι κοινώς γνωστό ως πυροβόλο όπλο αέρα, οπότε η ομοιομορφία της επικάλυψης μετά τον ψεκασμό από το υπερηχητικό ακροφύσιο έχει βελτιωθεί σημαντικά. Συνήθως, η ομοιομορφία επικάλυψης του υπερηχητικού ψεκασμού μπορεί να φτάσει περισσότερο από 95%.
2. Υψηλός ρυθμός αξιοποίησης πρώτων υλών και λιγότερη εκτόξευση
Δεδομένου ότι ο υπερηχητικός ψεκασμός είναι υγρή ψεκασμού με υπερηχητική ταλάντωση, η διαδικασία επικάλυψης είναι ψεκασμένη δεν απαιτεί κανένα αέριο, δηλαδή η διαδικασία ψεκασμού δεν απαιτείται με μεγάλη πίεση και μόνο μια πολύ χαμηλή πίεση αερίου φορέα εφαρμόζεται μετά την ψεκασμό του υγρού, έτσι ώστε η ανάκαμψη του υγρού και η εκτόξευση που προκαλείται από τον υψηλής πίεσης του αέρα της πίεσης του δισκίου. Ο ρυθμός αξιοποίησης πρώτων υλών του υπερηχητικού ψεκασμού είναι περισσότερο από 4 φορές αυτός του συνηθισμένου ψεκασμού αέρα και ο ρυθμός χρησιμοποίησης μπορεί να φτάσει περισσότερο από 90%.
3. Υψηλή ακρίβεια ελέγχου πάχους επικάλυψης
Ο κύριος παράγοντας που επηρεάζει την ακρίβεια πάχους της επικάλυψης είναι η ροή ψεκασμού της επικάλυψης, δηλαδή η ποσότητα του υλικού που φορτώνεται στο υπόστρωμα ανά μονάδα χρόνου. Το ακροφύσιο υπερήχων δεν έχει καμία επίδραση πίεσης στο υγρό, οπότε ο ρυθμός ροής του υγρού ψεκασμένου χρώματος μπορεί να ελεγχθεί πλήρως από την αντλία μέτρησης υψηλής ακρίβειας, συνειδητοποιώντας έτσι τον έλεγχο ροής ψεκασμού υψηλής ακρίβειας. Για παράδειγμα, μια αντλία σύριγγας υψηλής ακρίβειας, η ακρίβεια ελέγχου της ροής μπορεί να φτάσει στο επίπεδο των πικολίτερ ανά δευτερόλεπτο και ο μικροκύριος σχεδιασμού του υπερηχητικού ακροφυσίου μπορεί επίσης να επιτύχει τη συνολική ακρίβεια ελέγχου των νανοολίτλων ανά δευτερόλεπτο.
4. Το πάχος της επικάλυψης είναι λεπτό, το οποίο μπορεί να φτάσει σε δεκάδες νανομέτες
Δεδομένου ότι ο όγκος ψεκασμού του υπερηχητικού ακροφυσίου μπορεί να επιτύχει έναν πολύ χαμηλό και σταθερό ρυθμό ροής (0,001ml/min), μπορεί να επιτύχει μια πολύ μικρή ποσότητα φόρτωσης στο υπόστρωμα, επιτυγχάνοντας έτσι ένα πολύ λεπτό ξηρό φιλμ. Για μερικά νανοϋλικά, το πάχος ξηρού φιλμ μπορεί να είναι τόσο χαμηλό όσο τα δεκάδες νανομέτες. Μπορεί να χρησιμοποιηθεί για την προετοιμασία γυάλινων μεμβρανών, όπως διαφανείς αγώγιμες μεμβράνες, ταινίες αντιπαράθεσης και αντιπαράθεσης, φιλμ μόνωσης θερμότητας, υδρόφιες και υδρόφοβες μεμβράνες κ.λπ.
5. Δεν υπάρχει απόφραξη ακροφυσίων και χαμηλής δαπάνας συντήρησης
Επειδή το υπερηχητικό ακροφύσιο συνειδητοποιεί ότι η υγρή ψεκασμού μέσω υπερηχητικής ταλάντωσης και τα ψεκασμένα σωματίδια προσδιορίζονται από τη συχνότητα υπερηχητικής ταλάντωσης, επομένως είναι διαφορετικό από το ακροφύσιο δύο υγρών. Κίνδυνος φράγμα ακροφυσίων.
